该设备工作原理是在真空条件或保护气氛下，利用中频感应加热方法将置于感应线圈内的石墨加热体进行加热，石墨加热体产生高温并辐射到工件，使其达到所需要的温度。主要应用于新型材料碳化硅的反应烧结。烧结温度可达2500℃。主要由排胶系统、除尘系统、快速冷却系统（特制风道）、加热室、真空系统、加热系统等组成。炉型有立式、卧式、底装三种型式。
技术参数
参数 型号 | 有效温区 | 最高温度 | 极限压力 | 压升率 | 中频功率 | 中频频率 | 控温精度 |
单位 | mm(Φ×H) | ℃ | Pa | Pa/h | KW | HZ | ℃ |
HYZS-160 | 500×800 | 2000 | 7×10-1 | 1.5 | 160 | 2000 | ≤±10 |
HYZS -250 | 650×800 | 2000 | 7×10-1 | 1.5 | 250 | 2000 | ≤±10 |
HYZS -350 | 900×1200 | 2000 | 7×10-1 | 2 | 350 | 1500 | ≤±10 |
HYZS -500 | 1200×1500 | 2000 | 7×10-1 | 2 | 500 | 1500 | ≤±10 |
HYZS -750 | 1500×2000 | 2000 | 7×10-1 | 2 | 750 | 1000 | ≤±10 |
